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電子生產企業潔凈系統工程

電子生產企業潔凈系統工程（ISO Class1-7級電子廠）

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《電子工廠潔凈廠房設計規定》GB50472-2008中規定

集成電路對化學污染物的控制指標

潔凈室（區）溫度和相對濕度要求

潔凈送風量（靜態）和氣流流形

防靜電環境設計分級使用場所

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