《電子工廠潔凈廠房設計規定》GB50472-2008中規定
集成電路對化學污染物的控制指標
潔凈室(區)溫度和相對濕度要求
潔凈送風量(靜態)和氣流流形
防靜電環境設計分級使用場所
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