電子生產(chǎn)企業(yè)潔凈系統(tǒng)工程（ISO Class1-7級(jí)電子廠）
2016/5/17
《電子工廠潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)定》GB50472-2008中規(guī)定
集成電路對(duì)化學(xué)污染物的控制指標(biāo)
潔凈室（區(qū)）溫度和相對(duì)濕度要求
潔凈送風(fēng)量（靜態(tài)）和氣流流形
防靜電環(huán)境設(shè)計(jì)分級(jí)使用場(chǎng)所
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